小型高真空爐是一種用于實驗室或小型生產的設備，用于在高真空環境下進行材料處理、燒結、退火、熱處理等工藝。通常由爐體、真空系統、加熱系統、溫度控制系統和載樣系統等組成。
小型高真空爐的爐體一般采用不銹鋼材質，具有較好的密封性能，可以在高真空環境下工作。真空系統包括真空泵、閥門和真空儀表等，用于將爐腔抽成高真空狀態。加熱系統通常采用電阻絲或電磁感應加熱，可以通過控制加熱功率和加熱時間來實現不同的熱處理工藝。溫度控制系統通常采用PID控制器，可以**控制爐腔溫度的穩定性和均勻性。載樣系統一般有樣品托盤或樣品夾具等，用于放置需要處理的材料樣品。
小型高真空爐廣泛應用于材料科學研究、電子元器件制造、粉末冶金、金屬熔煉等領域。其優點包括溫度控制準確、真空度高、加熱快速、操作方便等。同時，小型高真空爐的體積相對較小，適用于實驗室的研究和小規模生產。